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原子力显微镜的原理.悬臂拥接触式、非接触式、轻敲式三种!
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原子力
显微镜
的原理.悬臂拥接触式、非接触式、轻敲式三种!
原子力显微镜是使用凡得瓦力扫描试件,藉由压电材料细微的控制机具移动定位,这种材料受到电压时会延电场伸长的特性,称为逆压电效应,做微量调整,配合雷射干涉仪与模组,重现试片表面结构。
AFM的悬臂拥接触式、非接触式、轻敲式三种,整体而言,原子力显微镜的优点有较佳的水平与垂直解析度,不受材料之性质(是否为导体)、样貌、粗糙度、关键尺度之量测与不受大器与液体内影响,但有
测量
面积小(10微米),怕震动等缺陷。
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