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光波导的制作-专业光学设备厂家

信息分类:生命科学资讯    作者:YIYI发布 

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光波导的制作流程

光波导的制作流程与积体电路的制作流程相似,我们以脊形波导为例,说明如何在玻璃上成长脊形波导。

1.在玻璃表面成长一层气化矽厚膜(厚度大于1m),形成“玻璃/氧化矽”的两层结构,

2.将“氧化矽/玻璃”放入光阻涂佈机(Spin coater),在表面涂佈光阻层,形成“光阻/氧化矽/玻璃”的三层结构,

3.将光罩放在“光阻/氧化矽/玻璃”上方进行光罩图形转移,注意光罩的图形是要让紫外光穿过左右两个区域。被紫外光照射过的区域,光阻化学键结被破坏,使光阻很容易被化学药品溶解掉。

4.将“光阻/氧化矽/玻璃”放入“显影液”中反应,化学键结被破坏区域的光阻会被显影液溶解,

5.将“光阻/氧化矽/玻璃”放入乾式蚀刻机中反应,使用微波产生带负电的“氟气体离子”,另外在矽晶圆上外加正电压,吸引带负电的氟气体离子加速射向氧化矽。没有光阻保护的区域氟气体离子会与氧化矽反应而使氧化矽去除掉;有光阻保护的区域氧化矽受到光阻的保护而保留下来。

7.将“光阻/氧化矽/玻璃”放入“去光阻液”中反应,有光阻存在的区域光阻会被去光阻液溶解



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