电子显微镜在材料科学上的应用-上海光学仪器一厂
信息分类：生命科学小百科 作者:YIYI发布
利用电子显微镜的强大功能，在整个科学研究上提供研究者诸多的讯息，
了解材料的特性、表面型貌、剖面状态、晶粒分佈、晶粒大小、薄膜厚度等
化学组成定量分析、元素成份、不纯物的含量及均可从电子显微镜的分析上得知。材料与电子
束交互作用，所产生的讯号特征与强度，有助于了解入射电子束与试片原子序大小的影响。
因此，所获得的影像与讯号，对试片材料的性质、成份、型态，做正确的判断与分析。
为单层Ti镀膜试片之SEM影像，多层膜试片之SEM影像，可由图片中了解晶粒颗粒大小及从剖面图中了解Ti镀膜厚度等，
众多的资讯有助于了解薄膜成长状态及特性
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