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机械式探针和光探针最主要的区别？光学显微镜百科

机械式探针和光探针最主要的区别是什么？光学显微镜百科

探针式激光干涉感测法：

此种表面粗糙度量测仪为结合探针式表面粗糙度量测仪、激光干涉仪和精密移动平台设计、制作等优点

➢ 光探针式自动对焦伺服探头感测法：

以激光式收录器替代探针式收录器和有一双轴移动的精密台所组成。

＊　机械式探针和光探针最显着的差别在于微小激光光可达波谷，机械式探针受到针尖半径的限制可能无法到达，

同时激光光投射点直径仅约在0.8μm 而已