晶圆目视检测用大平台金相显微镜-上海光学仪器厂
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
晶圆定位及瑕疵检测系统专为晶圆目视检测而设计，定位软体、
显微镜、自动载物台，适用于4/6/8吋晶圆即时瑕疵检测。
提供预览影像，操作者可在萤幕上即时检测Wafer上的每一个Die，
并可针对Die的每种状况进行定义，于Wafer Map上以颜色呈现。
即时观测影像可拍照存档，存档名称可自行定义，如Die的位置与瑕疵定义等。
功能特点
‧读取Wafer Map文字档相关资讯，即时产生对应Wafer Map。
‧手动三点定位，定位简易快速，误差小，可修正Wafer实际角度与位置偏差。
‧可自定义多点检测位置，如已公式计算多点检测位置，或自行设定固定检测位置。
‧可自行定义Defect类别，Defect分类可以颜色呈现。
‧可依每个Die的检测状况，选择Defect进行标记，并以颜色于Wafer Map呈现，方便检视与分辨，检测结果可记录于资料库或Wafer Map。
‧可将瑕疵状况进行拍照存档，存档名称可自行定义，如Die的位置加上瑕疵定义。
‧可根据客户需求，整合客户端资料库，将分析与检测结果存入资料库。
‧提供多组比例尺建立，使用者可根据显微镜物镜建立对应比例尺，并可于影像上标注比例尺。
‧提供量测直线、角度、面积等多种量测工具。
‧提供进阶量测功能，如点到线距离、点到圆距离、线到圆距离等。
‧提供影像缩放功能、方便观察检测。
‧即时观测影像画面，减少检测者于显微镜上观测的疲劳度，并可显示十字线，方便检测与对位。
‧影像拍照存档成多种格式，如Tiff、JPEG等。
‧量测结果可汇出至文字档或Excel报表。
‧提供Time Lapse影像拍照功能，可设定拍照建隔时间与张数。
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