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高解析度测量工具影像测量仪厂商-专业的显微镜订购

信息分类:生命科学资讯    作者:YIYI发布 

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磁浮定位平台、摩擦驱动定位平台、导螺杆定位平台(马达+导螺杆)、线性马达定 
位平台等,也已经在实际的应用上有着相当的成效,但对于扫描探针显微镜而言,
这些平台的设计,也都存在着与压电陶瓷驱动平台相同的瓶颈,因此在实际应用 
扫描探针显微镜上,除非有其他如成本或环境控制上的考量,否则纳米级定位平 
台仍不是应用在扫描探针显微镜上,最适当的平台定位系统。 
除了上述之两种定位系统外,可应用在扫描探针显微镜上之定位系统尚有双 
平台定位系统,双平台定位系统是应用粗动定位平台(Coarse positioning stage) 
与细动定位平台(Fine positioning stage)搭配成兼具高解析度与长行程之定位系 
统,例如以压电材料驱动之微动平台,结合直流伺服马达和滚珠螺杆驱动之粗动 
平台。利用粗动定位平台具有长行程、低定位解析度,以及微定位平台具有高定 
位解析度、高反应速度和短行程的特点,将微定位平台结合于粗动定位平台的上 
方,则可获得长行程、高定位解析度、高反应速度之定位平台系统[3]。 
但是双平台定位系统,由于是由两种不同的驱动系统所组成,且两个驱动系 
统之动态特性也不尽相同,因此在控制上较为复杂。然而利用传统的 PID 控制法 
则,仍可达到强健且具有次纳米级定位精度与解析度之定位系统。因此双平台 
定位系统可称是应用在扫描探针显微镜上,最为适当的平台定位系统 

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