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高精度微小锥面测量的电感测微仪究竟是一种怎样的仪器

电感测微仪属于精密仪器是可以用以进行微小

尺寸变化的工件的测量。其构成主要是由主机和测

头两部分构成的，加以测量台架及专用的测头，可

以进行各种精密测量。

电感测微仪可用以进行工件厚度、内径、外径、

椭圆度、平行度、直线度、径向跳动等的检查，在

精密机械制造业、晶体管以及集成电路制造业、国

防、科研、计量部门等均被大量采用，均用以进行

精密长度的测量。