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X射线能谱仪与扫描电子显微镜关系

X射线能谱仪与扫描电子显微镜关系

通常一般情况下X射线能谱仪在1978年，还没有与计算机
配合使用，只使用于多道分析器中，能量分辨率是非常
低的。

只能够作定性分析，不能作定时分析，到了1984年X射线
能谱仪能量分辨率可以达到一百六十伏，引入到计算机
使用。

同时X射线能谱仪内存可以作定性，定量和无样品标本定
量分析，直到功能的扩散，可使得改进探头，利用无窗
或是超薄窗口可检测超经元素。

使用计算机除了可作定性，定量以及无样品标本分析外
，还可以作数字图像处理与分析。