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使用背散射电子观察样品标本

我们在对背散射电子使用时对样品标本表面进行观察，则

发现背散射电子对样品标本的原子序数是十分敏感的。

这就是说当电子束垂直的入射时所产生的通常随着增加机

单调上升，但是与入射电子的能量的关系不是太大。

这样一来我们就发现背散射电子不仅仅能够反映出样品标

本表面微区成分的特征，就是反映出平均原子序数分布情

况。

同时还可以出形貌特征的一种类似于物理信息，因此对于

背散射电子的信号调制图像的可定性的反映出样品的微区

成分分布与表面形貌。