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平板玻璃表面光洁度测量显微镜

信息分类:生命科学资讯  日期: 2013-6-5 22:48:45  作者:YIYI发布 

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平板玻璃表面光洁度测量显微镜


我们扫描平板玻璃20mm、40mm 两种行程,并以玻璃内部α角变化图和表面形貌图来呈现一维的量测范围。
为扫描行程20mm 的玻璃内部角度α变化,其中纵轴α为玻璃内
部的角度,其单位为degree,而横轴x 为待测物扫描移动的距
离,其单位为 mm。而图五、六是扫描行程为20mm 的表面形
貌图,其中纵轴为Δh 为高度差,其单位为m,横轴为横轴x 为
待测物扫描移动的距离,其单位为mm。

 其中最大高度差6.5639256×10-5m、平均高度为9.0056×10-5m
最大高度差7.0398869×10-5m 、平均高度1.2807×10-4m。图五、六中,最大高度差的差值为

4.759613×10-6m,平均高度差值为3.8014×10-5m。对同一物
件我们增加平移的行程至40mm 时,其玻璃内部α角变化如图
七、八所示。图九、十为扫描行程40mm 的表面形貌图。图九
最大高度差8.9264543×10-6m、平均高度2.0108×10-5m,图
十看出最大高度差8.5235211×10-6m 、平均高度1.9213×10-
5m,最大高度差的差值为4.029332×10-7m,平均高度差值为
8.95×10-7m。以不同扫描行程来看差值,发现扫描行程40mm
的最大高度差与20mm 相差有11 倍之多,
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