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测量玻璃平整度与缺陷的光学仪器简介
信息分类:生命科学资讯
作者:YIYI发布
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测量
玻璃平整度与缺陷的
光学
仪器简介
平均高度差了42 倍之多,可见扫描行程越长,其测量精度越
高。
结合表面电浆共振及外光程外差干涉术,来测量玻璃平整度与缺陷,具有架构简单、准确性高的优点,
而且为非接触式量测,使得待测物不受任何限制,证明本实验
的量测方法,具有很好的学术研究价值,可一直深入研究,并
且具有很大的产业应用潜力及开发价值,相信不久将来,此方
法将可在光学量测技术占有一席之地
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上海光学仪器厂
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