扫描显微镜的应用较为广泛如黏着、摩擦等进行量测
扫描探针显微技术，应用最为广泛
SPM- 扫描探针显微镜
SPM主要应用于基础性学术研究，根据应用的范围发展出一系列不同类型的SPM，
更加深与拓宽了其实用性。可综合地对物质表面的微结构的性质，如温度、硬度、电容以及磁、电、黏着、摩擦等进行量测和分析
扫描探针显微镜包含微探针、感测器、扫描平台和控制系统几个部份，如下图所示。
其原理是利用一根极微细的探针(微探针)，在极靠近试片表面处对试片表面的形貌或特性(如：电、磁和光等特性)进行探测。
对于其几个颇重要的部份，于下列作进一步的介绍
除电子显微像外﹐利用透射电镜还可以观察电子衍射图﹐如高分辨衍射﹑选区衍射﹑微区衍射和会聚束衍射等。
