矽晶圆试件表面需要使用电子显微镜来观察
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
矽晶圆试件表面需要使用电子显微镜来观察
滞滑现象的粗糙度机制与实验
探针在粗糙形貌的表面上移动，实际上驱动探针的速度可能为定值，
然而探针在试样表面运动的情况却往往是滞滑行为。儘管这类型的滞滑行为早期即已提出，
然而由于表面缺陷等因素导致实际量测的结果却往往是杂讯。因此为了观察粗糙度型的滞滑现象，
实验的试件表面状况和正向负载的量都必须小心选择。
使用圆球型的钻石探针与具有良好的表面状况和机械性质的矽晶圆试件来进行实验
微接触的统计分析
在探针和试件之间的接触会造成试件变形，是粗糙度型滞滑现象的一个主要影响因素；
因此正向负载对于滞滑现象的影响不容小觑。而且试件表面的粗糙度为多尺度特性，
而滞滑现象的特征尺度仅为其中的一部份。我们利用一系列不同频率的馀弦函数累加来表达试件表面，
并将建立于统计计算的微接触机构用来建立压痕负载和滞滑现象的关系。
试件表面的特征
首先利用原子力显微镜量取矽晶圆试件表面；肉眼看似镜面的晶圆表面仍然可以
量测到相当等向且均质的粗操形貌。我们将取样尺度下的表面形貌可当作晶圆整体的代表，
将其拆解为200个馀弦函数；这些函数的高度分佈便可以利用平均值与标準差来描述
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