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纳米陶瓷材料显微结构需使用电子扫描显微镜
信息分类:生命科学资讯
作者:YIYI发布
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纳米陶瓷材料显微结构需使用电子扫描
显微镜
薄膜铁电材料,在非易失性铁电存贮器及微电子机械系统中,
有很广泛的应用前景。高密度的铁电存贮器,
单元尺寸已减小到30一100nm:在这样小的亚微米
尺度上,需要了解材料内微区物理性质,
如铁电畴的形成,极化反转机制,极化疲劳、极化保持和退化、老化行为。
利用以原子力显微镜为基础的扫描探针显微术,就能满
足以上检测目的,其分辨率达30 nm左右,
能观测到极化反转的细节,这对改进性能退化指出了途径。
另外,要了解纳米陶瓷材料显微结构,一般也离不开这类显微镜。
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上海光学仪器厂
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