触针的表面粗糙度的测量方法-测量显微镜型号
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
首先要像下面那样确定它的基本设计.
基准部分和运动部分
用触针的表面粗糙度的测量方法是,触针的夹持装置向被浏
表面的平均方向作相对运动,以其巾之一的运动轨迹作为荃准形
状.这种测量方法是对应基准形状求得被测表面显微形状的方法.
用被测表面移动的方式时,由于受被测零件的形状和大小的
限制.所以采用触针的夹持装置移动的方式,这是能够容易测量
各种尺寸和形状的零件的结构.
在这种情况下,由于测量基准形状是触针的夹持装置的直线.
运动的轨迹,所以运动的导向装置的设计是一个重要问题.因此,
对这种装置的机构采用新机构.
考虑到纵向放大倍率为10000倍,触针夹持装置的直线运动精度在整
个移动范围内规定真直度为0.2微米.再者,关系到横向放大倍
率,触针部分的最大移动范围规定为20毫米.
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