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测量粗糙度的技术应用的特点-光学粗糙度测量显微镜

信息分类：生命科学资讯　　　　作者:YIYI发布　

自从激光问世以来，由相干激光产生的散斑受到了极大的重视，研究

了散斑图样的统计特性。

测量粗糙度的技术，这种技巧是通过利用部分时间相干光在象面附

近产生的散斑图样对比度来测量的，以后浅仑俊光以及他的同事研究了

产生在成象面用衍射面上的散斑强度变化的统计特性，

这些特性与工件

表面粗糙度以及照明的相干条件及光学成象系统的点扩散函数有关。在

这些研究的基础上，一种利用散斑图样对比度来进行表面粗糙度的非接

触测量。

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