显微镜明场和暗场显微镜观察用来观察不同样品
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
显微镜明场和暗场显微镜观察用来观察不同样品
1。暗斑:各种脏物、杂质经常会在掩膜表面上形成暗斑，
它们可能是灰尘、光刻胶的薄片、棉绒、头发或玻璃碎片，所以
应该随时仔细地加以清洗，以去除那些随机分布的暗斑。
2,溶剂斑。溶剂斑是一些在显微镜明场下可见的掩膜上的
色斑，当掩膜版流入圆片生产线之后，这些溶剂斑将会复印到圆
片上。溶剂斑是清洁的溶液或其他溶剂材料挥发后的残留物。一般
来说，只要经过仔细的清洗过程，都能去除溶剂斑、暗斑和玻璃
碎片等。可以使用机械的刷子进行清洗，也可以使用带有超声或
不带超声的高压喷射进行清洗。
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