被测工件尺寸电容测微仪-机械加工件分析显微镜
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
被测工件尺寸电容测微仪-机械加工件分析显微镜
电容测微仪工作原理是通过电容传感器，将被测工件尺寸的变化转换成电容量的变化，
然后通过一定的测量电路，将电容量的变化变成电信号，从而进行工件尺寸的测量。
电桥式电容测微仪是最常见的电容测微仪。但在机械制造业量仪中，使用的广泛性却还
远不如电感式测微仪。这是由于：
(1)电容传感器的容量不易做得很大，通常只几个pF。线路的引线电容、分布电容、
杂散电容等，特别是这些电容的变化，都可能影响仪器的精度。对电缆线的选择、安装、接
法都有严格的要求，仪器的分布电容必须小而稳定，否则不能保证高的测量精度。
(2)在音频范围内，电容传感器的阻抗很高，输出功率小，抗干扰性能差。采用高频
供电，放大器设计比较复杂，也不易保证十分稳定。电容测微仪必须采取妥善屏蔽措施，并
对环境条件提出较恶格要求。
(3)为使传感器有较大电容，传感器极片或极筒之间的气隙必须尽可能小，测杆的运
动精度也要求很高，这都给加工和装配工艺带来很大困难。
但是，电容传感器也有它独特的优点，即：
(1)它没有电感传感器那样的磁性材料，因而也就不存在难以控制的磁路非线性、磁
滞损耗、涡流损耗等问题，不会产生由上述等问题引起的零点残余电压。电容传感器的零点
残余电压主要由介质损耗而引起，它的值比较小，这就允许电路进行高倍率放大，使仪器具
有很高的灵敏度；
(2)电容传感器中测杆不受电磁吸力的作用，测杆运动过程中作功小，它所需测量力
小，动态性能好；
(3)电容传感器可以用较高频率供电，加之动态性能好，使它可用于测量高速变化参
数，如测量振动。此外还可用于测量带磁的工件，
(4)电容传感器主要都是机械加工件，只要保证高f向机械加工和装配精度，就可以达
到较高精度。
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