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工件表面的宏观轮廓有几何形状误差的表面无法测量

信息分类:生命科学资讯    作者:YIYI发布 

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和工件表面的宏观轮廓有几何形状误差的表面无法测量



导头半径:一般希望导头曲率中心运动的轨迹应和工件表面的宏观轮廓相一致,这在光
洁度粗距足够小时是可以达到的。若粗距增大或导头半径过小,则导头将随着粗糙度的起伏
而上下运动,给测量带来误差。特别是在目前的结构中触针和导头与工件的接触点之间具有
一定距离(3 mm左右),更造成相位上的误差。若导头半径过大,一方面在结构上不易保证
它和被测平面平行贴合,另外也可能把宏观几何形状误差引入测量结果。实践表明,导头半
径在R 25 mm左右时,对V9以上表面具有良好的效果,也就是说使用导头与不使用导头(让
传感器与驱动箱中的滑架刚性固定,沿直线导轨运动),其测量结果相近。考虑到宏观轮廓可
能使传感器的工作进入非线性区,同时为了减小周围振动对测量结果的影响,还是以使用导
头为好。在测量具有较大粗距的较粗糙表面时,上述相位误差比较显著。若不使用导头,对
具有几何形状误差的表面无法测量。对于这种情况,我们另:用了近距离并列式旁向导头
(使导头与触针并列,相距0.05一0.1 mm)做过试验,取得了良好效果。

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