高精抛光或镜面加工表面光学精细表面粗糙度分析显微镜
信息分类：生命科学小百科 作者:YIYI发布
高精抛光或镜面加工表面，在用触针式测量仪测量其粗糙度时
，所遇的问题恰恰是在高的灵敏度方面，表面的轮廓图形被触针
的抖动、振动以及外界的鉴别所歪曲，仪器的最小读数也是一个
对测量的限制因素，当所测表面的粗糙度值接近仪器最小数值时
，基准表面 特征的影响变成主要因素，工业用仪器所提供的信
息大多数是测量表面微不平度的高度，对于镜面精加工表面，这
种测量不能充分实现对其粗糙度进行实际的恰如其份的评定。
当使用光学方法时，局部散射和总体反射的区别也需考虑，而
任何非传统的粗糙度测量方法应该以参数形式给出测量结果，该
参数要符合公认的ISO粗糙度术语，一个光学和数字方法的联合
装置已被研制出来，用非接触的光学数字方法给出的结果令人满
意，全面的，而且符合ISO术语，因而非常精细表面粗糙度的实
际比对成为可能。
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