专业图像量测显微镜观察微小的芯片影像结构
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
专业图像量测显微镜观察微小的芯片影像结构
探讨单次涂布与两次涂布中各种精度问题，针对造成误差的原因进行分析与检讨，
并验证两次涂布中软件补正的成效。
实验中单次涂布与两次涂布均规划执行，由单次涂布之实验了解涂
布机台之误差与软件座标补正之功效，再由两次涂布的实验验证软件补正
方法的正确性。此外，机台补正输入参数与软件座标系统不同，其转换方
法的正确性也藉由实验进行测试。
芯片影像采集后，需经由软件运算补偿数据，并转换成适当座标系后
输入机台进行补偿，这些步骤基本上是环环相扣的，为拟清各阶段误差的
情况，在实验规划上需特别小心，以免因多项误差同时发生导致无法研判
误差成因。此外，同一实验均重覆执行多次，有时是使用相同芯片重覆实
验，有时则是使用不同芯片执行相同步骤，希望藉由统计分析的资料，降
低个别实验偏差的影响软件
软件与补偿机台座标值转换
由于本研究软件计算芯片误差补偿值与补偿机台实际进行补偿所需要
输入的座标值型式不相同，所以无法直接使用，软件本身计算的座标为 x、
y、θ 型式，而机台补偿值输入则为 X、Y1、Y2 型式，两者之间必须找出一
个关系式进行转换，转换流程图，但因为无法对补偿机台本
身机构运作情形进行了解，因而必须透过 CCD 影像设备于机台上位置尺
寸之配置图推算一套转换公式，此转换公式必须经过验证后确定
其误差于合理范围内，其验证方法于第四章将详细说明，以下则针对转换
方式详细说明
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