什么是芯片电极涂布实验-专业量测用显微镜
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
什么是芯片电极涂布实验-专业量测用显微镜
芯片电极涂布实验，其实验项目与目标说明如下：
(1) 软件运算精度分析：此一实验的目的在验证芯片座标系设定的重
现性(Repeatability)，若通过此一验证，才能确定软件座标系设定
的正确性，后续得以进一步分析电极涂布之精度。
(2) 电极涂布机台涂布重现性分析：此一实验目的在了解电极涂布过
程的重现性，涂布过程其实包含多项误差之组合，然而由于无法分
析涂布机台各项作业，因此仅能测试涂布机台整体流程之重现性。
(3) 软件座标与涂布机台座标转换误差分析：涂布机台补偿值输入参
数为 X、Y1、Y2，本研究电极座标系与芯片座标系之误差则为 x、y、
θ，需将 x、y、θ 转换为 X、Y1、Y2，以便输入机台进行补正。此一
实验目的为验证 x、y、θ 转换为 X、Y1、Y2 之正确性
(4) 单次电极涂布补正分析：本实验测试单次涂布座标补正之正确
性，若补正方式正确，则以数片芯片测试，并以前一芯片之误差为
修正下一芯片之涂布，否则，将分析误差成因，并寻求改善方法。
(5) 两次电极涂布补正分析：本实验测试两次涂布座标补正之正确
性，藉由两次涂布之电极对位的正确性，验证误差补正方法的成效
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