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光学元件常识,购置高分辨率的荧光显微镜测定细胞

信息分类:生命科学资讯    作者:YIYI发布 

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光学元件常识,购置高分辨率的荧光显微镜测定细胞

光学元件依照其原理来区分,大致上可以分成折射式光学元件
(Refractive Optical Elements,ROEs)与绕射式光学元件(Diffractive
Optical Elements,DOEs)两种。
绕射式光学元件,具备着多样光学功能的特点,其体积、重量皆
可比折射式光学元件来的小,尤其在微光学系统中的应用,绕射式光
学元件极具发展的前景。至今,绕射式光学元件已经被广泛的运用于
光电产品之中,如光学读取头、条码读取机、激光印表机、激光准直
透镜以及微小微透镜阵列支聚光、成像与扫瞄装置,甚至于下一代高
速平行计算系统中成为重要的光学连结元件。

灰阶光罩的优点
制作绕射式光学元件的方法有很多种。由于现今半导体制成技术
的成熟,故用半导体制程中的光罩微影技术,可达成大量制作的目
的,本论文所提之绕射式光学元件,亦是以光罩微影技术制作。然而
为了要提升绕射式光学元件的效率,会将元件制作成多阶的形式。如

在传统上,多位阶的绕射式光学元件,会透过二元多光
罩与蚀刻制程(Binary Multimask-and-Etch Fabrication Process)来制作
欲制作 2N
之绕射式光学元件,需要 N 个不同图案的光罩,N 次
曝光以及 N 次蚀刻的程序,然而每一次曝光,光罩还需要再定位对
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