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集成电路各元件的电学特性分析显微镜

信息分类:生命科学资讯    作者:YIYI发布 

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集成电路各元件的电学特性分析显微镜

    为了测定构成集成电路的各元件的电学特性,一般采用机械
式接触探针法。对于某些集成电路,当其中的元件很小,无法伸
进探针时,可部分地切断铝线,在铝线之间进行测定。而在去掉
铝蒸发互连线后,露出的硅表面可用探针进行测试时,探针多少
有一些接触电阻与测试电路串联,如衬底上不加适当的电压,就
会引入测量误差。

   测量电阻时,首先测定电阻值,随后测定其偏差和温度系数,
根据电流值来测定电阻的变化和频率特性。


    由于集成电路是执行电路功能的部件,所以可以把整个集成
电路看成一个黑盒子,测定其外部电学特性,即输入特性、输出
特性、输入一输出的传输特性和功耗。由于这些特性随集成电路
的使用条件而变化,因此,必须确定使用条件。这些条件有电源
电压、散热状态、环境温度,例如,电源电压使用几优电压波
动为百分之几,都应规定一个范围。电学特性必须在最恶劣的条
件下进行测试。电源电压下降时特性变坏的测试项目,应在集成
电路设计条件内的最低电源电压下测定,反之,电源电压上升时
的测试项目,应在址高电源电压下测定。此外,还要注意环境温
度条件,如果最低使用温度设计为10℃的集成.电路,在一10℃使
用,则输出功率和扇出数就会减少。

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