光栅测量位移测量精度可以达到几个微米-测量显微镜
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
利用光栅结构测量坐标的系统在平面型扫描输入装置中
已得到推广，这类自动扫描装置的图象尺寸较大(200 x 200
平方毫米或更大)，空间分辨力也很高。利用光栅耦合来测量位
移的精度取决于光栅本身的精度和测量系统的校准精度。
耦合误差包括光栅刻线的间距误差，刻线宽度误差和刻
线方向误差。目前，已研究出了一种使光栅随机误差平均的
方法，用来提高测量精度
光栅测量系统的位移测量精度可以达到几个微米(在大
幅度范围内)。
光弹性效应表现为，介质在声波产生的机械压力作用下
会产生双重光折射。假如光电测量系统的光束孔径比声波的
波长小得多，则在光弹性效应作用下实现相位调制。假如光
束孔径大于声波波长，则会在声频的偶次谐波中产生光通量
的强度调制。在介质中由于声波引起的折射系数周舰性分布
(按位移长度)对光通量的作用，将类似于相位衍射光栅的
作用。
根据这个效应，可以对光通量进行空间相位调制。光通
量被分解成一系歹Ⅱ的衍射级，并按照各种角度散射出去。
目前已知有两种类型的声光衍射：一种称为罗曼一奈特
型，它基于行波；另一种称为布莱格型，它基于驻波。在一
定的条件下，第一种衍射也能转变成第二种。在声光衍射中
衍射级的光学频率产生了频移，其相移位置为声频的倍数。
正是这个效应才使得能够对光线实现频率调制。
在采用超声波驻波声光刻度盘时，必须要严格保持共振
半波条件。一旦刻度盘波导的温度变化破坏了这个共振条件
时，刻度盘上的光学图象刻度线的质量便剧烈降低，从而导
致读数准确度降低。驻波度盘的另一个缺点是，调整工作的
难度大，特别是在刻度尺较长的仪器中调整光源与反射体的
平行度更加困难。
在利用超声行波的声光刻度盘上，声波的光学图象是利
用频闪效应产生的。这时，对穿过超声行波场的光通量进行
调制。调制频率等于超声频或它的倍数。
频闪效应可以采用单个光调制器来实现，也可利用光通
量对同一行波进行两次穿行桌达到(称为自频闪)．
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