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扫描电声显微镜是自行研制一种新型显微成像工具

信息分类:生命科学资讯    作者:YIYI发布 

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扫描电声显微镜是自行研制一种新型显微成像工具


SEAM成像的基本物理过程

    当一束电子入射到样品上时,电子与样品发生相互作用产生各种效应,这些效
应就构成了各种成像的信息基础。根据所获得的不同信息进行成
像,就产生了各种各样的电子显微镜。在以上的各种信息中,如果利用扫描电子显
微镜技术检测从样品背面传出的声波,就形成了扫描电声显微镜技术。如果以热
波耦合机制为基础,扫描电声显微镜成像的基本物理过程如下:当~束强度受调制
的电子束入射在样品表面上时,在距样品表面一定的距离内,电子与样品发生相互
作用,电子的部分能量(大约40%~80%)将转化为样品的热能。理论分析表明,
电子损失能量的区域大致为一球形,在这球形区域内,由于电子的能量是按一
定频率调制的,故它相当于一个瞬时热源,这热源的温度变化也同步于调制频率而
改变,其性质类似一热波

扫描电声显微镜是自行研制的一种新型显微成像工具,整个系统最终实现了
用计算机进行电声信号采集和图像处理。
(1)电子束发生器;(2)电子束强度调制器;(3)电声信号处理器;(4)试样和探测
器组件;(5)图像显示器;(6)计算机控制系统。
    扫描电声显微镜在扫描电镜第一级透镜前加了一对偏转板,由脉冲功率放大
器控制。偏转板上的周期调制信号使电子束能量进行周期性的变化。样品背面有
一PZT型压电探测器接收电声信号。从探测器接收的信号非常微弱,经前置放大
器处理后送往锁相放大器,然后再送往图像显示器或经计算机处理后进行电声成
像。由于扫描电声显微镜同时具有普通扫描电镜的功能,因此,可以同时观察样品
的电声像和二次电子像。

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