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电子显微方法的分类与基本原理达到约0.5μm

信息分类:生命科学资讯    作者:YIYI发布 

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电子显微方法的分类与基本原理达到约0.5μm

电子显微方法(electron microscopy)

    电子显微方法的分类与基本原理自从光学显微镜问世以来,人
们认识世界的能力有了质的飞跃,在微观世界里我们更加精确地了
解了物质的本质。但是由于可见光波长的限制,我们利用光学显微
镜的分辨极限只可达到约0.5 μm级别,再往下就因为光的衍射而
无法分辨了。为了提高显微镜的分辨率,人们很容易想到利用波长
更短的射线束来代替光束。这样,电子显微镜就出现了。


    电子显微镜可以分为两大类:透射电子显微镜(transmission 
electronmicroscope,TEM)和扫描电子显微镜(scanning electron
 microscope,SEM)。透射电子显微镜是利用高能电子束来代替光
束,使之穿透薄层样品,根据样品不同部位电子穿透能力的不同或
穿过晶体时衍射图样的不同,经过电磁透镜放大后在荧光屏上成像
。现代的TEM技术使得人们认识微观世界的本领大大提高了,它可
以提供高达0.3 nm左右的分辨率,并可以工作在SEM模式或扫描透
射电子显微镜(STEM)模式。扫描电子显微镜是利用一束电子聚焦在
样品表面并作扫描,探测其激发出的二次电子,然后利用二次电子
来调制一个与扫描电子束作同步扫描的显示器,在显示器上显现出
样品的相应图像。目前SEM的分辨率已经可以达到几个纳米了。

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