工件轮廓测量仪器-全自动测量投影仪器
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
工件轮廓测量仪器-全自动测量投影仪器
纳米绕射及散射线宽量测技术
以 AFM 量测 50 nm 线宽线距技术，须配合使用超细微探针，探针尖端尺寸可降低
到 2~10 nm 等级，减少对量测待测件表面尺寸的影响。
因探针尺寸还是与待测件尺寸相近，以传统扫描方式，会受限于探针给几何表面形狀，会有死角而无法量测问题，
当 AFM 探针由左往右扫描时，工件右侧轮廓侷限于探针几何形狀问题，无法
量测到。NIST[1-5]作法是使用倾斜式单向扫描，由作第一次左往右扫描后，
将工件旋转 180 度，同样再扫描一次后，以缝补技术让二次扫描结果组合，以得到待测
件真实輪廓。此方法会碰到问题为纳米工件非常细微，经旋转 180 度后，很难再找到同
样位置进行量测，会造成缝补技术组合误差。
另一量测程序，将探针与待测面倾斜，先将探针左倾斜时，由左往右扫描时，工件左侧輪廓不会侷限于探针几合形
狀问题，直接在再倾斜探针为右倾斜后，并进行扫描，同样再以缝补技术组合，
因倾斜调整座在倾斜转动时，工件仍会有空间位移问题，由调整座几何形狀关系与倾斜角度，
可推算出偏移量，再由水平移动平台补偿偏移后，仍可找到待测件，所以二次量测都能
在同一位置附近，才能以缝补技术补偿误差
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