光学量测显微镜拥有细微特征量测功能
信息分类：生命科学资讯 作者:YIYI发布
传统三次元量测仪因具备高量测弹性与复杂几何特征的量测能力，成为航太、汽车与模具产业的主要检测设备，
但受限于量测接触力与最小探针尺寸，面对精微模具与微元件等三维微结构特征之量测需求，往往显得力有未逮。
光学量测系统虽拥有细微特征的量测能力，但主要是属于表面量测应用，对于高深宽比、
微内孔结构或是透明材质的待测工件，使用上仍有诸多限制。
三次元量测切入主题，解析应用于精微模具与元件量测之微探针量测系统与其工作原理，
同时介绍世界现今小型三次元量测仪的发展现况，
对于微探针量测系统能有初步的认识，而最后以金属中心投入微探针量测技术开发
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